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目前,红外线气体分析仪的半导体光电检测器中大多采用的半导体材料是锑化铟,这种材料容易加工成性能可控制的单晶体,并且在红外线波长为3-7μm范围内具有较高的响应率,即检测器的电输出和灵敏面入射能量之比值高。而且在这个范围内CO、CO2、CH4、NH3等几种气体都有吸收带。
半导体光电检测器是根据光辐射与固体中电子相互作用的这一机理工作的。红外线光辐射到半导体上,引起固体电导率的变化,即其电阻值发生变化,从而使其输出的电压或电流发生变化。
采用锑化铟半导体光电检测器的红外线气体分析仪,采用一个光源,一个气室,参比、测量共用一条光路通道,这样一种时间双光路方式,可以利用后面电子线路中的自动增益对光路中存在的干扰因素加以补偿。双光路即红外线辐射只有一条光路通道,在光路中由测量滤光片和参比滤光片先后吧红外线辐射分成两组不同波长的红外线光束,这就使一束集合单光束红外线按时间分成两个光路。切光片上装有四片滤光片,两片是测量滤光片,另两片是参比滤光片。测量红外线光束与参比红外线光束射到半导体元件锑化铟上的光强是不同的,这就会导致半导体元件锑化铟的电导率不一样。
滤波气室的作用与采用薄膜电容检测器的红外线气体分析仪一样是为了防止干扰组分产生的影响,进一步提高仪表的选择性。
由于锑化铟半导体元件输出的是测量和参比交替的混合信号,所以经放大后还必须将两个信号准确地分离开才能供二次仪表指示或记录。